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篤摯儀器(上海)有限公司
聯(lián)系人:朱經(jīng)理
手機:15921165535
電話:86-021-58951071
傳真:86-021-50473901
地址:上海市浦東外高橋自貿(mào)區(qū)富特東三路526號5號樓311室
郵箱:814294500@qq.com
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產(chǎn)品中心
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀,繼承了工業(yè)標準GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點,融合了機械相移技術、創(chuàng)造性的數(shù)據(jù)采集技術、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等,是ZYGO技術的集中體現(xiàn)。 所有VeriFire™系列產(chǎn)品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用。Verif ire"系統(tǒng)真正的斐索型激光光路設計延續(xù)了zYG0在面形計量行業(yè)*與倫比的經(jīng)驗。共光路的設計結合ZYG0**的采集算法,和功能強大的批軟件實現(xiàn)了高精度的表面計量與良好的分析能力。
關鍵性能:
? 斐索型共光路系統(tǒng)保證精密測量
? 友好的圖形用戶界面,易于生產(chǎn)線上操作
? 創(chuàng)新箅法使其在振動環(huán)境中也能實現(xiàn)準確計量
? 利用良好的過程控制技術,快速提取測試中不變的信息
? 每一幀數(shù)據(jù)都將振動信息凍結
所有 Verifire™ 系列產(chǎn)品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用,列于下表:
型號: | XPZ | QPZ | ATZ | MST | Asphere |
核心技術: | 相位移式干涉儀 (PSI) | 傅立葉轉換相位移 式干涉儀 | **非球面演算 法相位移式干涉儀 | ||
光源: | 點光源 | 點光源和 Ring of Fire™環(huán)形光源(波紋抑制) | |||
變焦: | 自動 1-6X | 數(shù)位控制 1-5X | |||
聚焦: | 自動 | 數(shù)控步進焦距控制 | |||
解析度: | 640 × 480 圖元 | 1k × 1k 圖元 | |||
幀速: | 75 Hz | 100 Hz | 43 Hz |
集成大量常用測量程序模塊? 多個樣品的同時分析? 球面曲率半徑的測量 ? 角錐和棱鏡測量 ? 雙球面和三平板的測量 ? 相對角度和楔板楔角的測量 ? 材料均勻性的測量 ? 傅立葉變換移相干涉測量(MST型) ? 動態(tài)設備如MEMS的測量 ? 薄膜上下層形貌和厚度的測量 ? 金屬零件的測量
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簡單的定制過程,用戶可調(diào)? 設定數(shù)控采集和數(shù)據(jù)處理過程中的各種參數(shù)? 選擇需要顯示的圖像曲線和數(shù)據(jù)結果 ? 幾百種符合工業(yè)標準的數(shù)據(jù)可供選擇 ? 自定義屏幕上各種窗口的編排 ? 保存和輸出每個樣品參數(shù)測量.分析設定數(shù)據(jù)結果 ? 適用于工業(yè)化生產(chǎn)的軟件 ? 質量控制--自動顯示”合格/不合格” ? 編程功能--儀器自動按用戶所編程序模式運行.產(chǎn)生相應的信息 ? 根據(jù)用戶定義的計算公式,產(chǎn)生相應的結果 ? 實時屏現(xiàn)SPC ? 自動數(shù)據(jù)保存和統(tǒng)計 ? 應用程序”鎖定“功能
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強大的數(shù)據(jù)分析功能? 數(shù)據(jù)濾波和剪輯? 像差計算 ? PSF和MTF圖 ? 斜率圖/功率譜密度/環(huán)繞能 ? ASCII和"XYZ"數(shù)據(jù)格式 ? Zernike分析 ? 數(shù)據(jù)和圖像加減、縮放、旋轉和轉換 ? ZEMAX、CodeV和0SL0數(shù)據(jù)格式
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系統(tǒng)
測量功能 | 精密測量各種反射面和光學系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學系統(tǒng)的傳輸波前 |
測量技術 | QPSI快速機械相移模式和傳統(tǒng)的機械相移干涉模式(PSI) |
校準系統(tǒng) | 快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線) |
測量光束直徑 | 4″(102mm)或6″(152mm) |
對準視場范圍FOV | 4″:±3°;6″:±2°; |
光學中心線 | 4.25″(108mm) |
激光光源 | 大功率穩(wěn)頻氦-氖激光,III* |
波長 | 633 nm |
頻率穩(wěn)定度 | < 0.0001 nm |
相干長度 | >100m |
成像分辨率 | 1024 x 1024像素 |
幀速 | 100Hz(PSI) |
數(shù)據(jù)采集時間 | 130-300ms |
數(shù)據(jù)模式 | 8位 |
放大 | 電控1-5X |
偏振 | 接近圓偏振(1.2:1或者更好) |
光曈調(diào)焦范圍 | 4″:±2.5m;6″:±5.5m; |
計算機和軟件 | 高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO**軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X(2) |
安裝構造 | 水平臥式或垂直立式 |
附件 | 詳細參考ZYGO激光干涉儀附件向導文件,OMP-0463 |
尺寸(長x寬x高) | 4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.) |
重量 | 4″:≤85lb(38Kg);6″:≤100lb(45Kg) |
電源 | 100-240VAC,50/60Hz |
工作環(huán)境:
溫度 | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
溫度變化率 | <1.0°C/15min |
濕度 | 相對濕度5% - 95% , 無凝結 |
隔振 | QPSI模式可以在振幅不超過150nm的震動環(huán)境下進行測量;機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。 |
性能參數(shù):
RMS重復性(3) | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
RMS波前重復性(4) | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
像素峰值偏差(5) | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
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